Le four tunnel propre pour l'industrie des semi-conducteurs est un équipement de chauffage et de manutention conçu spécifiquement pour le processus de fabrication des semi-conducteurs. Il combine un traitement à haute température avec les exigences d'un environnement extrêmement propre pour répondre aux normes strictes de propreté et de contrôle de précision dans la production de puces semi-conductrices.
Caractéristiques de l'équipement
1. Système de chauffage : chauffage infrarouge lointain, effet de rayonnement élevé, vitesse de chauffage plus rapide, distribution raisonnable du tube de chauffage, contrôle indépendant de chaque zone de température, selon les besoins du processus de la température de la section de chauffage
2. Système de contrôle de la température : PLC + contrôle de l'écran tactile de résolution, utilisant un chauffage de contrôle de sortie d'impulsion, SSR, pour éviter l'impact du courant instantané, les fluctuations de contrôle de la température et d'autres impacts, avec thermostat de sortie DC24V, qui peut rendre la tension de sortie lisse, l'effet de contrôle de la température est plus stable, la température est plus précise, avec auto-réglage PID, thermostat automatique, la synchronisation automatique peut être supérieure à la valeur définie de la température, la coupure automatique du chauffage Lorsque la température dépasse la valeur définie, il coupera automatiquement la puissance de chauffage et une alarme sonore et lumineuse.
3. Isolation de l'équipement : isolation en laine de roche en silicate d'aluminium crypté 100K, la boîte à l'extérieur de la base pour maintenir la température normale de la pièce, la température ambiante a moins d'impact.
4. Protection de sécurité : protection contre les fuites, protection de ligne, protection contre les courts-circuits, protection contre les surcharges, protection contre les surchauffes.
5. Selon les besoins de production, il peut être équipé d'un filtre haute efficacité résistant aux hautes températures, de qualité propre CLASS1000.
6. Transport : une bande à mailles en téflon, une bande à mailles en acier inoxydable ou une chaîne à plaques peuvent être sélectionnées en fonction des besoins, et la vitesse de transport peut être ajustée par conversion de fréquence.
7. L'intérieur du corps du four est fait d'une plaque d'acier inoxydable SUS304# pour garder l'intérieur du four propre, et la surface de l'équipement est traitée avec de la peinture de cuisson.
8. Prise en charge du traçage du code produit et du système MES (en option).
Applications
Le four tunnel propre est largement utilisé dans l'industrie de fabrication de semi-conducteurs, en particulier dans la fabrication, l'emballage et les tests de puces et d'autres maillons clés. Il joue un rôle important dans l'amélioration du rendement des puces semi-conductrices, la réduction des coûts de production et le raccourcissement du cycle de production.
